低溫等離子體技術是一種集物理、化學、生物學和環境科學的交叉綜合技術。等離子體的分子被稱為第四種形式，是國內外空氣污染控制中是最為有效的方法，具有對污染物產生物理效應、化學作用和生物作用的顯著特點。
低溫等離子凈化器的凈化機理包括兩個方面：第一，在等離子體產生過程，打開某些有害氣體分子產生化學高能高頻放電，這樣氨、三甲胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲基二硫、二硫化碳和硫化氫VOC苯、甲苯、苯乙烯硫化物、X乙烯，分子鏈結構，使有機或無機惡臭化合物分解成單質原子或無害分子，包括高能量電子能，大量等離子體中的正離子和負離子產生激發態粒子和強氧化性的自由基，這些活性粒子和一些排氣氣體分子碰撞，在電場作用下分子處于興奮狀態，當結合氣體分子獲得的能量大于分子能量時，廢氣的分子鍵斷裂，直接分解為廢氣的原子或無害的氣體分子。同時產生大量的HO2、O、OH等活性自由基與氧化性強的O3，能與有害氣體發生反應，最后生成無害的產物。
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